Chọn từ một bộ tùy chọn máy dò. Tiếp cận những hình ảnh cao cấp: Sigma 300 với mức giá hợp lý và hiệu suất cao mang lại loại EDS tốt nhất trong phân khúc của Sigma 500 có hiệu quả phân tích tuyệt vời
Dòng Sigma – Kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường (FE-SEM)
FE-SEM cho Hình ảnh Chất lượng cao & Kính hiển vi Phân tích Nâng cao
Dòng ZEISS Sigma kết hợp công nghệ kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường (FE-SEM) mang lại trải nghiệm tuyệt vời cho người dùng. Cấu trúc lại quy trình chụp ảnh để phân tích và làm tăng năng suất.
ZEISS Sigma 300 | ZEISS Sigma 500 | ||
Nguồn điện tử | Bộ phát trường nhiệt Schottky | Bộ phát trường nhiệt Schottky | |
Độ phân giải* ở 30 kV (STEM) | 1.0 nm | 0.8 nm | |
Độ phân giải* ở 15 kV | 1.0 nm | 0.8 nm | |
Độ phân giải* ở 1 kV | 1.6 nm | 1.3 nm | |
Độ phân giải* ở 30 kV (Chế độ VP) | 2.0 nm | 1.5 nm | |
Máy dò tán xạ ngược (BSD) | aBSD / HDBSD | aBSD / HDBSD | |
Tốc độ quét tối đa | 50 ns / pixel | 50 ns / pixel | |
Tăng tốc điện áp | 0,02 – 30 kV | 0,02 – 30 kV | |
Phóng | 10× – 1.000.000× | 10× – 1.000.000× | |
Đầu dò hiện tại | 3 pA – 20 nA (100 nA) | 3 pA – 20 nA (100 nA) | |
Khung ảnh | 32 k × 24 k điểm ảnh | 32 k × 24 k điểm ảnh | |
Cổng | 10 | 14 | |
Cổng EDS | 2 (1 cổng chuyên dụng) | 3 (2 cổng chuyên dụng) | |
* khoảng cách làm việc tối ưu; lắp đặt cuối cùng, độ phân giải được chứng minh trong thử nghiệm chấp nhận hệ thống ở 1 kV và 15 kV trong chế độ chân không cao | |||
Chế độ chân không | |||
Chân không cao | Có | Có | |
Áp suất thay đổi | 10-133 Pa | 10 – 133 Pa | |
Loại bàn soi | Bàn soi compucentric 5 trục | Bàn soi eucentric 5 trục | Tùy chọn bàn soi compucentric 5 trục |
Bàn soi X | 125 mm | 130 mm | 125 mm |
Bàn soi Y | 125 mm | 130 mm | 125 mm |
Bàn soi Z | 50 mm | 50 mm | 38 mm |
Du lịch giai đoạn T | -10 đến +90 độ | -4 đến +70 độ | -10 đến +90 độ |
Bàn soi R | 360 ° Liên tục | 360 ° Liên tục | 360 ° Liên tục |