Tối đa hoá thông tin chi tiết về SEM
- Khả năng đạt được độ phân giải SEM tốt hơn tới 30% ở điện áp thấp bằng cách sử dụng Tandem decel
- Trích xuất thông tin mẫu thực từ ảnh SEM độ phân giải cao bằng cách sử dụng quang điện tử Gemini.
- Hãy tin tưởng vào hiệu suất SEM của Crossbeam đối với các hình ảnh bề mặt 2D hoặc khi thực hiện chụp cắt lớp 3D.
- Độ phân giải cao, độ tương phản và phân tích tạp chất, ngay cả khi cảm biến gia tốc rất thấp.
- Tạo nét đặc trưng cho mẫu vật một cách toàn diện với các máy dò. Có được độ tương phản vật liệu tinh khiết với máy dò EsB độc đáo của Inlens
- Phát hiện các mẫu vật không dẫn điện.
Tăng thông lượng mẫu FIB
- Mang tốc độ và độ chính xác cao từ hệ thống quét FIB thông minh để loại bỏ vật liệu và thực hiện các thí nghiệm nhanh hơn tới 40%.
- Cột Ion-sculptor FIB giới thiệu về cách xử lý FIB: bằng cách giảm thiểu thiệt hại cho mẫu, tối đa hóa chất lượng mẫu và đồng thời thực hiện các thí nghiệm nhanh hơn.
- Thao tác với các mẫu một cách chính xác và nhanh chóng bằng cách sử dụng dòng điện lên tới 100 nA mà không ảnh hưởng đến độ phân giải FIB.
- Khi chuẩn bị các mẫu TEM, ứng dụng FIB Ion-sculptor có điện áp thấp: lấy các mẫu siêu mỏng trong khi vẫn giữ mức hư hỏng do biến dạng ở mức tối thiểu.
Trải nghiệm độ phân giải 3D tốt nhất trong phân tích FIB-SEM
- Tích hợp phân tích 3D cho EDS và EBSD.
- Trong quá trình phay, tạo ảnh hoặc khi thực hiện phân tích 3D, Crossbeam sẽ tối ưu các ứng dụng FIB.
- Tính năng mở rộng của Crossbeam với ZEISS Atlas 5 – hàng đầu thị trường để chụp cắt lớp nhanh, chính xác.
- Thực hiện phân tích EDS và EBSD trong quá trình chụp cắt lớp với mô-đun Phân tích 3D tích hợp của Atlas 5.
- Độ phân giải 3D tốt nhất và kích thước điểm ảnh ba chiều đẳng hướng hàng đầu trong chụp cắt lớp FIB-SEM. Dò độ sâu dưới 3 nm và tạo ra hình ảnh tương phản vật liệu bằng máy dò Inlens EsB.
- Tiết kiệm thời gian bằng cách thu thập hình ảnh phần nối tiếp trong khi phay. Tận dụng kích thước điểm ảnh ba chiều có thể theo dõi và quy trình tự động để chủ động kiểm soát chất lượng hình ảnh.
EN